Die Halbleiter-Branche ist geprägt durch extrem schnelle Innovationszyklen. Nach dem mooreschen Gesetz verdoppelt sich die Komplexität von integrierten Schaltkreisen alle zwölf bis vierundzwanzig Monate. Zur weiteren Miniaturisierung sind allerdings völlig neue Fertigungstechnologien notwendig. Um diese umzusetzen, ist höchste Präzision entscheidend. Das gilt für die Wiederhol- und Positioniergenauigkeit genauso wie für die Regelbarkeit von kleinsten Bewegungen. Aber auch Zuverlässigkeit und Produktivität sind von entscheidender Bedeutung. Teilweise findet die Produktion in Reinraumumgebung statt (mind. bis Reinraumklasse ISO-6) – immer öfter auch im Vakuum (Druckbereich inzwischen bis 10-12 mbar). Aufgrund der Einbausituation ist ein möglichst kleiner Bauraum der Antriebe wichtig. Wir bieten Lösungen, die extrem leistungsdicht, hochdynamisch und präzise sind. Unsere Antriebe verfügen über einen optimalen Gleichlauf – auch für Vakuumumgebungen. Das ermöglicht eine deutliche Steigerung des Durchsatzes.